蒸汽发生器精密电子制造用分为小试装置和大中试装置。小试装置主要作为实验室设备使用，其液体水流量达10-80g/min。大中试装置流量大，主要应用于量产，其液体水流量达12-48kg/h。

小型蒸汽发生器 材料改性用采用特殊算法，精确控制汽化进口的水流量和汽化过程中功率、液位、压力、温度等 最终达到对出口蒸汽的调节。精密控制精度，蒸发量大范围精准可调。

微型蒸汽发生器器出口温度可调节范围广，100~1000℃，蒸气流量精度高，可达±1%，蒸气气态流量可从1mL/min~1000L/min可选，液态水蒸发量可从0.5uL/min~1000mL/min可选。

低压高温蒸汽发生器出口温度可调节范围广，100~1000℃，蒸气流量精度高，可达±1%，蒸气气态流量可从1mL/min~1000L/min可选，液态水蒸发量可从0.5uL/min~1000mL/min可选。

蒸汽发生器 600℃高温操作过程更加简单和快捷，改变传统按钮操作功能，走向智能化。可以设置参数，显示数据，监控设备状态，以曲线/动画等形式描绘工艺控制过程。

实验室用蒸汽发生器操作过程更加简单和快捷，改变传统按钮操作功能，走向智能化。可以设置参数，显示数据，监控设备状态，以曲线/动画等形式描绘工艺控制过程。